針筒式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)應(yīng)用程序：

人工放置基板->啟動(dòng)真空吸附->基板吸附于轉(zhuǎn)盤上 ->自動(dòng)滴膠->旋轉(zhuǎn)開啟->低轉(zhuǎn)速->中 轉(zhuǎn)速->高轉(zhuǎn)速->旋轉(zhuǎn)停止->去邊->破真空->人工取件。

針筒式旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

針筒式滴膠方式更適合科研和小批量生產(chǎn)，不用清洗管道；

整機(jī)用料扎實(shí)、750W進(jìn)口伺服電機(jī)、適合更大更重樣品；

吸盤平整度精細(xì)加工平磨，均勻性好，可達(dá)1%以內(nèi)；

電氣獨(dú)立集成機(jī)身側(cè)面，避免因腔體漏液到設(shè)備內(nèi)部導(dǎo)致短路風(fēng)險(xiǎn)；

配置光膠過濾器，清洗保養(yǎng)方便，避免堵膠帶來飛片風(fēng)險(xiǎn)；

真空負(fù)壓數(shù)值顯示和低真空?qǐng)?bào)警，避免因負(fù)壓不足帶來飛片風(fēng)險(xiǎn)。

安全措施：

產(chǎn)品參數(shù)：

可提供12寸晶圓（均勻性＜2%）、方片、膠泵滴膠、壓力罐滴膠等多種滴膠方式，以滿足不同產(chǎn)量要求，更多需求可咨詢。