一、設(shè)備概況

1.1 設(shè)備名稱：8 寸噴霧涂膠機(jī)；

1.2 設(shè)備型號(hào)：MSSC-200F；

1.3 整機(jī)尺寸（約）：1000mm（長(zhǎng)）*1000mm（寬）* 2200mm（高含三色燈）；

1.4 整機(jī)重量（約）：250KG；

1.5 操作臺(tái)面高度：850mm；

1.6 基片尺寸規(guī)格：8 寸以內(nèi)晶圓

1.7 設(shè)備類型：半自動(dòng)，手動(dòng)上下片；

二、設(shè)備構(gòu)造

2.1 外殼：SUS304 不銹鋼；

2.2 腔室：耐腐蝕,易清潔；

2.3 管路：管路位于機(jī)臺(tái)下/后部，管道采用 PU 與PFA 配套使用管路；

2.4 擺臂：XY軸自動(dòng)擺臂；

2.5 工作照明：黃光照明

2.6 觸摸屏：全彩觸摸屏；

2.7 電氣部分: 采用 PLC 控制，電氣控制部分位于機(jī)臺(tái)內(nèi)部，與濕區(qū)隔離；

三、安全保護(hù)

3.1 設(shè)備具備手動(dòng)操作、故障報(bào)警、安全保護(hù)功能；

3.2 漏電保護(hù)：設(shè)備電器件密閉且與液路部門隔離，具備漏電斷路保護(hù)裝置；

3.3 漏液檢測(cè)：設(shè)備底部裝有防漏液裝置；

3.4 緊急及警報(bào)系統(tǒng)：設(shè)備操作位置具備急停開關(guān)設(shè)備,有可靠的接地裝置；

3.5 真空?qǐng)?bào)警：真空不足報(bào)警，異常報(bào)警的情況下將嚴(yán)禁運(yùn)行設(shè)備；

四、設(shè)備詳細(xì)說明

4.1 整機(jī)

4.1.1 設(shè)備為柜式操作設(shè)計(jì)。

4.1.2 適用于晶圓或平面、曲面的光學(xué)材料的噴霧涂膠工藝；

4.1.3 設(shè)備主要由膠腔單元、噴膠系統(tǒng)、光刻膠供應(yīng)系統(tǒng)、加熱單元、排放單元、電控單元等組成。

4.1.4 噴涂單元控制集成在一塊觸摸屏上，所有工藝參數(shù)設(shè)置均可在此面板上進(jìn)行 ;

操作界面簡(jiǎn)潔，軟件系統(tǒng)具有工藝設(shè)定、手動(dòng)維護(hù)、自動(dòng)運(yùn)行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面，配方編制、儲(chǔ)存、調(diào)用靈活。

4.1.5 設(shè)備配置觸摸屏顯示及控制界面；

4.1.6 PLC 模塊控制；

4.1.7 機(jī)臺(tái)設(shè)有急停開關(guān)、電源開關(guān)和待機(jī)、故障、運(yùn)行狀態(tài)顯示燈。

4.1.8 柜體下部設(shè)計(jì)為可開門式，里面可盛放液罐等物品。

4.2 噴涂單元

噴涂單元共用同一腔室,包含 主軸電機(jī)及吸盤、噴膠機(jī)構(gòu)、加熱機(jī)構(gòu)、排風(fēng)、廢液回收等功能 ;