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一、產品定位與核心功能合肥重光電子科技有限公司推出的CG-MLC6系列直寫光刻機(無掩膜光刻機)是一款面向高校、實驗室及研究機構的設備。核心技術：采用數字光刻技術，免除掩模版制作環節，將版圖信息直接轉移到涂有光刻膠的襯底上。主要應用：各類MEMS器件制作(如麥克風、壓力傳感器、加速度計、陀螺儀、超聲波傳感器、壓電傳感器)。掩模板制作。微納器件無掩模版直寫光刻。3D結構曝光(支持128階灰度曝光)。特色功能：具備自動對準、用戶自定義標記對準、可視化定點曝光、自動聚焦、不規則樣片...

桌上型顯影機是微納加工黃光工藝中用于完成光刻膠顯影步驟的緊湊型實驗室設備。它通過旋轉涂布或定點噴淋方式將顯影液均勻分布于曝光后的基片（晶圓、玻璃片、硅片或方片）表面，利用正性光刻膠曝光區溶解度增加（或負性光刻膠未曝光區溶解度增加）的化學特性，選擇性溶解去除相應區域的光刻膠，還原出掩模版上的精細圖形。與占地較大的產線顯影軌道不同，桌上型顯影機體積小巧（典型尺寸約500–700mm寬），可直接安置于超凈工作臺或小型潔凈室內，支持手動上下片、程控顯影時間/轉速/噴淋流量及自動清洗甩...

桌上型成像儀在本行業中通常指桌上型掩模對準曝光機，是微納加工黃光工藝中將掩模版圖案通過紫外光接觸式或接近式曝光轉移到涂敷光刻膠基片上的核心設備。它由紫外曝光光源系統（含汞燈或LEDUV源、濾光片、蠅眼勻光器）、高精度XYθ對準工作臺（帶真空吸附載片與掩模夾具）、分離視場顯微鏡對準觀測系統、氣動/手動壓合機構及安全互鎖系統組成。桌上型成像儀可在軟接觸、硬接觸、真空接觸或接近式多種模式下工作，典型分辨率可達0.5–2μm（依光學系統、間隙及光刻膠而定），適用于高校微電子、MEMS...

鈣鈦礦太陽能電池的光電轉換效率已突破26%，其核心活性層——鈣鈦礦吸光層——通常采用一步法或兩步法旋涂制備。然而，鈣鈦礦前驅液及中間相（如PbI?溶液）對空氣中的水和氧極度敏感，暴露在普通大氣環境中會迅速發生水解或氧化，導致薄膜結晶質量差、缺陷密度高，最終影響器件效率與穩定性。鈣鈦礦旋涂儀正是針對這一痛點設計：它不僅是高精度旋涂設備，更強調與惰性氣氛手套箱（N?或Ar）的系統兼容性及反溶劑滴加的精準協同，為高質量鈣鈦礦薄膜的制備提供專屬保障。與通用旋涂儀相比，鈣鈦礦旋涂儀在以...

?激光直寫光刻機?是一種基于激光光源的無掩膜光刻設備，廣泛應用于科研和工業領域的微納結構制造。光刻技術是半導體制造的核心工藝，傳統掩模式光刻機如同“微縮復印機”，需先制作高精度掩模版，再通過投影曝光將圖案轉移至晶圓，適合大規模量產，但掩模版制作周期長達數周、成本高，且無法靈活適配設計變更。直寫光刻機本質是一臺高精度微納“繪圖儀”，核心由光源系統、光場調制模塊(DMD/電子槍)、精密投影物鏡、納米級運動平臺、圖形數據處理系統五部分組成。其核心邏輯是計算機直接驅動光束，無需掩模，...

在半導體光刻、微電子MEMS結構開發、柔性電子材料制備以及先進光電器件研發等領域，薄膜涂布的均勻性與一致性是決定器件性能上限的關鍵指標。傳統的手工滴膠方式往往受限于操作人員的手法差異，容易導致涂液分布不均、浪費昂貴試劑，甚至引入顆粒污染，影響實驗的可重復性。為滿足科研探索與小批量中試生產對高精度、低污染及節材型涂布工藝的迫切需求，我們推出了新一代針筒式旋轉涂布機。該設備將自動化流體控制技術與高精度旋涂平臺融合，為現代實驗室提供了穩定可靠的薄膜制備解決方案。核心優勢：自動化針筒...

在納米材料研究、生物醫學芯片開發、集成電路設計驗證以及光學器件原型制造等前沿科學領域，獲得超薄且厚度高度均一的涂層是許多突破性實驗成功的前提。然而，大型產線級的涂布設備造價昂貴、占地龐大，并不適合大多數研發實驗室或潔凈室手套箱內的使用場景。我們的桌上型旋轉涂布機應運而生——它以極簡的桌面占用空間、接近工業級的涂布精度以及高度靈活的編程能力，成為連接基礎研究與小試生產之間重要的橋梁。靈活架構：從通用臺面到受限空間（手套箱）的適配桌上型旋轉涂布機系列提供了豐富的結構選擇。標準型號...

在大規模精密生產、科研實驗等場景中，傳統勻膠機需人工滴膠、手動操作，不僅效率低下，還易因人為滴膠不均、滴膠量偏差影響涂覆效果，無法滿足高效、精準的涂覆需求。自動滴膠勻膠機在傳統勻膠機的基礎上，整合自動滴膠系統與智能控制系統，實現滴膠、勻膠一體化作業，憑借智能精準、高效便捷、穩定可靠的核心優勢，適配精密涂覆場景，廣泛應用于半導體制造、微電子封裝、光學元件加工、生物芯片制備等領域，成為涂覆領域的核心裝備。自動滴膠勻膠機的核心優勢在于自動滴膠與精準勻膠的融合，實現涂覆全流程智能化，...

針筒式旋轉涂布機是一種高精度表面涂布設備，通過結合旋轉離心力和針筒定量供料技術，實現膠液、涂料或油墨在基材表面的均勻覆蓋，尤其適用于對涂層均勻性和一致性要求嚴苛的場景。通過針筒滴加膠液，并利用高速旋轉產生的離心力將膠液均勻涂覆在硅片、玻璃、碳化硅、氮化鎵等基底表面的精密涂膜設備，廣泛應用于半導體、微電子、光電子和科研領域。該設備適用于對涂層均勻性要求較高的工藝，如光刻膠涂布、鈣鈦礦薄膜制備等。其核心工作流程包括：基片固定→真空吸附→針筒自動或手動滴膠→多階段旋轉(低速→中速→...

光學膜厚儀作為一種基于光的干涉原理進行薄膜厚度測量的精密儀器，在半導體、光學、顯示、新能源等多個領域廣泛應用。通過光的干涉現象來準確測量薄膜厚度，其核心原理是分析反射光的干涉光譜，結合材料的光學特性反演出膜厚，具有非接觸、無損、高精度的特點。光學膜厚儀基于光的干涉原理工作：光波傳播與反射：當光波照射到薄膜表面時，部分光在薄膜上表面反射，另一部分穿透薄膜并在薄膜與基底的界面發生二次反射。干涉圖樣形成：兩束反射光因光程差產生干涉。若相位相同則相長干涉(光強增強)，相位相反則相消干...

桌上型顯影機是半導體制造中用于晶圓顯影工藝的關鍵設備，它能在封閉環境中通過旋轉和噴淋準確控制顯影過程，確保圖案轉移的精度。其工作核心是配合光刻膠使用，通過化學作用去除基片上曝光區域(正性光刻膠)或未曝光區域(負性光刻膠)的光刻膠，還原出光刻掩膜版的精細圖案，全程需準確控制顯影時間、溫度、顯影液濃度/流速等參數，保證圖案顯影的精度和一致性。桌上型顯影機為一體化桌面式設計，結構緊湊，核心由主機腔體、控液系統、溫控系統、傳動/旋轉系統、控制系統、氣路系統六大模塊組成。技術特點高精度...

在芯片設計快速迭代與定制化需求激增的背景下，傳統光刻技術依賴掩模版的制造模式面臨成本高、周期長的瓶頸，尤其難以適配小批量、多品種的科研研發與特色芯片生產需求。直寫光刻機作為一種無掩模光刻技術，通過電子束、激光等直接在晶圓或基板上“書寫”電路圖案，無需制作昂貴的掩模版，大幅縮短了從設計到驗證的周期，成為支撐芯片科研創新與定制化生產的核心裝備。其廣泛應用于AI芯片快速迭代驗證、先進封裝、MEMS器件研發、MicroLED制造等領域，尤其在小批量高性能芯片生產、科研院所前沿技術研究...